媒介：

在每单元氛围体积的干净空间停止分类的程度标准，最大浓度限值大于或即是要斟酌的颗粒巨细。污染工程控告制产物 (如硅芯片等) 所打仗大气的干净度及温湿度，使产物能在一个杰出的情况空间中出产、制作。此情况空间的设想施工进程便可称为污染工程。无尘室污染工程中各级氛围干净度的氛围污染处置，均应接纳初效、中效、高效氛围过滤器三级过滤。100000级氛围污染处置，可接纳亚高效氛围过滤器代高效氛围过滤器。干净室对污染空调体系的加湿题目而言，经常利用的加湿方式有良多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方式属等焓加湿进程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方式属等温加湿进程。利用空方式和静态方式停止测试。

100，000级无尘车间：指氛围干净度为100，000的干净车间.氛围干净度是指在干净的情况中，氛围中悬浮颗粒的数目。当粉尘浓度较高时，氛围干净度普通较低，而粉尘浓度较低时，氛围干净度较高。它是按照每立方米氛围的最大许可颗粒数来肯定其氛围干净度程度。

本文具体论述了制作10万级干净车间的标准标准，并连系现行标准标准，总结了干净度车间的特色，干净度到达10万级。

从透风频次的角度来看：

100,000级的请求是每小时18-25次。充实透风后，氛围污染时候不跨越40分钟。

10000级请求每小时透风25/30，完整透风后氛围污染不跨越30分钟。

1000级每小时须要40-60次换气，完整透风后的氛围污染时候不跨越20分钟。

包含10万级污染车间在内的各级干净度标准以下：

iso 14644按照悬浮粒子浓度的独一目标，将干净室及相干节制情况中氛围的干净度分类，只斟酌积累散布在0.1微米至5.0微米之间的粒子群。

按照粒径可分为惯例颗粒、超微布局颗粒和微观颗粒。

氛围干净度品级标准：ISO14644-1

氛围干净度品级

大于或即是标准粒径的颗粒最大浓度限值

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注重：因为丈量进程中所触及的不肯定性，须要肯定浓度不跨越三个有用浓度数字的程度。

氛围干净度分级标准：GB/T 16292-1996

粒径、数值干净度级别

最大许可尘埃/立方米

微生物最大许可数

0.